Microelectromechanical systems--materials and devices III - symposium held November 30-December 2, 2009, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors, Jörg Bagdahn ... et al..)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | c2010 | Pennsylvania, Warrendale, Pa | ix, 211 sidor. ill. 24 cm. | 978-1-60511-195-7 |